韩国显示设备企业Olumma terial正在以EST（Electroforming on Silicon Template硅板电镀）方式，开发分辨率高达5000 PPI的OLEDoS（硅基OLED）超精密金属掩模板（FMM）。

　　据业内人士推测，Olumma terial所说的EST方式可能与韩国另一家显示设备企业APS生产FMM的方法类似，都是先在硅基板上涂覆因瓦合金（殷钢），然后使用光刻和干法蚀刻来制作FMM的图案，一旦图案形成，硅就会被蚀刻掉，留下FMM成品。

　　由于这种技术采用了芯片生产中所使用的光刻技术，因此，可以精确地蚀刻FMM，形成超极细小且规整的空洞，而这是实现OLEDoS超高PPI的关键。

　　去年12月，APS宣布已使用该方法开发出可生产3000ppi OLEDoS的FMM。如今，Olumma terial将有望借此开发出分辨率达5000 PPI的OLEDoS FMM，以更好地满足近眼显示产品的高分辨率需求，提升消费者的沉浸感。

　　来源：中国电子报、电子信息产业网