精密加工是指在一定的发展时期，加工精度与表面质量达到较高程度的加工工艺。超精密加工则是指在一定的发展时期，加工精度与表面质量达到最高程度的加工工艺。显然，在不同的发展时期，精密与超精密加工有不同的标准。

　　3、加工精度与年代之间的关系

　　图显示了加工精度与年代之间的关系。从图中可见，传统的机械加工方法（普通加工）与精密和超精密加工方法一样，随着新技术、新工艺、新设备以及新的测试技术和仪器的采用，其加工精度都在不断地提高。加工精度的不断提高，反映了加工工件时材料的分割水平不断由宏观进入微观世界的发展趋势。随着时间的进展，原来认为是难以达到的加工精度会变得相对容易。因此，普通加工、精密加工和超精密加工只是一个相对概念，其间的界限随着时间的推移不断变化。当前一般认为：普通加工所达到的精度是1μm（称为微米加工），精密加工所达到的精度是0.1～0.01μm（称为亚微米加工），而超精密加工所达到的精度是0.001μm（也称为纳米加工）。