1）新的机械加工工艺方法的研究与应用 如现在已创造出单刃金刚石刀具精密、超精密车削及铣削的新工艺，砂带磨削工艺等。

　　2）新型刀具材料的研制和采用 如应用涂层硬质合金、聚晶立方氮化硼、人造金刚石材料和单晶金刚石刀具等。

　　3）新型超精密加工机床的使用 该类机床多采用空气轴承，一般具备低速进给机构和微量进刀机构，并具有优越的抗热、抗振特性。

　　4）新的测量手段和测量方法的应用 精密加工和超精密加工的实现有赖于相应测量手段和测量方法的使用。例如，应用光学的或电磁的计量方法，可在加工过程中对加工精度进行自动监控。而以亚微米级加工精度为计量对象的非接触测量系统的研制和实用，是近些年里实现自动化精密加工的重大研究课题。

　　图是采用激光高速扫描的尺寸计量系统。它采用平行光管透镜将激光准确地调整到多角形旋转扫描镜上聚焦。通过激光扫描被测工件两端，根据扫描镜旋转角、扫描镜旋转速度，扫描镜和透镜之间的间隔即透镜焦点距离等数据计算出被测工件的尺寸。