热偶真空计的主要优点为:

(1)结构简单，制造方便，成本较低;

(2)能测量气体和蒸汽的全压强;

(3)能进行连续测量，与自动记录仪(10毫伏满最程)配合，能自动记录被测真空度;

(4)在使用过程中，如真空系统突然漏气也不致损坏。

其主要缺点为:

(1)热惯性较大，一般为几秒至几十秒，在被测真空度变化很快时，指示仪表的读数将滞后于实际真空度的变化;

(2)环境温度对测量结果有一定影响，测量结果还与气体种类和成分有关;

(3)随着加热丝表面情况的变化，加热电流也随之发生变化，影响测量结果的准确性。

目前提高热偶真空计的反应速度和进一步小型化是其主要发展方向。