在标准流量计法气体流量标准装置中，作为计量标准的是具有较高精度的气体流量计。该流量计所具有的精度应高于被检流量计精度的三倍以上，特殊情况下，高于两倍以上也可以。

音速喷嘴、超声波气体流量计和容积式流量计常被选作气体标准流量计，其中音速喷嘴在最近十几年来得到了广泛的应用。

音速喷嘴作为标准流量计的流体力学原理是:当喷嘴上游侧的气体通过喷嘴时，若喷嘴后的压力P1与喷嘴喉部的压力P0之比小于某临界值时(当以空气为介质时为0.528)，则在喷嘴喉部截面上气流达到音速。当压力比P1/P0继续减小时，气流速度仍保持音速不变，于是在连接有被检流量计的系统中产生固定不变的临界流速。当喷嘴喉部截面面积已知时，即得到固定不变的临界流量，因此可以作为标准流量计来检定其他气体流量仪表。

用音速喷嘴检定气体流量计时，被检流量计一般安装在音速喷嘴的上游侧，检定介质为干燥的气体，否则必须考虑湿度修正问题。