技术规格：◆氧气产量：100～3000Nm3/h

　　◆氧气纯度：50～95%之间可调

　　◆出口压力：0.015～0.05MPa(可调)

　　工作原理：真空变压吸附空分制氧，是采用优质沸石分子筛吸附氮气，未被吸附的氧气在塔顶聚集并做为产品气输送至氧气贮罐。当处于吸附状态的吸附塔临近饱和之前，该塔自动减压解吸再生，而另一只吸附塔开始加压吸附制取氧气。两只吸附塔交替工作，完成制氧的工艺过程。吸附塔解吸再生时，采用负压，谓之VPSA。

　　空气分离的主要三个步骤：◆净化：环境空气在进入一个鼓风机系统(无油鼓风机)前将会被净化以除去粉尘。

　　◆吸附：经过预处理的空气进入装有沸石分子筛的吸附塔。沸石分子筛在去除空气中的水分和二氧化碳后，吸附氮气，剩下的氧气从吸附塔中流出。该吸附过程将在沸石分子筛的吸附能力饱和前停止。

　　◆解吸：饱和的沸石分子筛通过减压达到再生的目的(即释放被吸附气体水分、二氧化碳和氮气)。这个步骤通过一个简单的压力释放系统VPSA来实现，废气自动放空。