根据吸附和解吸压力的不同，通常我们可将常温变压吸附分离制氧分成三种不同的工艺方式，用户可根据不同的工况和需要，选择相适应的工艺以达到降低能耗的目的。

　　1. 常压解吸变压吸附制氧(PSA-O2)

　　与空气变压吸附分离制氮流程相似，一定压力(0.3 MPa～0.55MPa)的压缩空气经空气预处理系统除去油、尘及大部分的汽态水份后，洁净空气进入PSA-O2系统吸附塔，吸附塔装有沸石分子筛(ZMS)，洁净空气中大部分的氮气、二氧化碳、残余水份被沸石分子筛吸附，氧气则被分离出来。当吸附塔内被吸附的杂质组份达到设定控制值时，通过常压脱附解吸，使该吸附塔的制氧吸附剂再生。由两塔组成的吸附分离系统在PLC系统的控制下通过程控阀门的起闭而循环切换完成连续制氧，该制氧流程通常称为变压吸附常压解吸制氧流程(PSA-O2)。

　　2. 真空解吸变压吸附制氧(VPSA-O2)

　　经鼓风机鼓风输送低压的原料空气(25KPa～39KPa)，净化除去粉尘后进入装有沸石分子筛(ZMS)的吸附塔，吸附塔为两塔或三塔体系，吸附塔产品气为氧气。空气中的氮气、二氧化碳、水蒸气被吸附达到设定控制值后，由于吸附压力较低，先通过常压解吸，再经过真空泵抽真空达到一定真空度，使吸附塔内吸附剂杂质彻底脱附再生。由两塔或三塔组成的吸附分离制氧系统在PLC或DCS系统的控制下，程控阀循环切换完成连续产氧，该流程我们通常称真空解吸变压吸附制氧流程(VPSA-O2)。

　　3. 真空解吸制氧(VSA-O2)

　　原料空气进气压力低于VPSA工艺，为15KPa～19KPa，其余工艺与VPSA工艺基本相同，该流程我们通常称真空解吸制氧流程(VSA-O2)，设备规模更大，经济性更强。