蚀刻的种类
蚀刻是MEMS制造过程中使用的基本重要技术。蚀刻利用了掩模材料与基底材料的蚀刻速度差。因此,实际的MEMS制造工艺往往组合使用多种材料。蚀刻可分为湿式工艺及干式工艺,这两种工艺又分别有各向同性蚀刻与各向异性蚀刻之分。
进行蚀刻时,如果能直接将保护膜用作掩模当然最好,但根据蚀刻液及蚀刻气体的不同,有机物保护膜经常会被蚀毁。这种情况下,可暂时在基底(硅底板)上制作例如二氧化硅层,借助保护膜在二氧化硅层上制作图案,然后将二氧化硅的图案作为掩模。
蚀刻可分为采用液体的湿式蚀刻、及采用反应性气体的干式蚀刻。二者又分别有各向同性蚀刻与各向异性蚀刻两种之分(图1)。
各向异性蚀刻在希望只沿某个方向进行蚀刻时采用。湿式蚀刻利用了蚀刻速度的结晶各向异性。干式蚀刻时,由于是垂直发射离子,因而仅能对垂直方向进行蚀刻。
进行蚀刻时,如果能直接将保护膜用作掩模当然最好,但根据蚀刻液及蚀刻气体的不同,有机物保护膜经常会被蚀毁。这种情况下,可暂时在基底(硅底板)上制作例如二氧化硅层,借助保护膜在二氧化硅层上制作图案,然后将二氧化硅的图案作为掩模。
蚀刻可分为采用液体的湿式蚀刻、及采用反应性气体的干式蚀刻。二者又分别有各向同性蚀刻与各向异性蚀刻两种之分(图1)。
图1湿式蚀刻及干式蚀刻(各向同性蚀刻及各向异性蚀刻)
各向异性蚀刻在希望只沿某个方向进行蚀刻时采用。湿式蚀刻利用了蚀刻速度的结晶各向异性。干式蚀刻时,由于是垂直发射离子,因而仅能对垂直方向进行蚀刻。
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