在一定温度下，氮气的残氧与碳载催化剂提供的碳发生氧化反应：C+O2=CO2生成的CO2经变压吸附工艺去除，及深度脱水，得到高纯度氮气。

　　技术特点

　　稳定性好，氧含量严格控制在5PPm以下

　　纯度高，氮气纯度≥99.9995%

　　含水量低，露点≤-60°C

　　不含H2，适用于氢、氧有严格要求的工艺。

　　技术指标

　　氮气产量：10Num3/h氮气纯度：≥99.9995%

　　二氧化碳含量：≤1PPm露点：≤-60°C氧含量<=5PPm