航空发动机用SOI高温压力传感器
作者:管苏州大学理员 发布于:2018-08-12 17:00:42 文字:【
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摘要:
本产品根据航空发动机用压力传感器指标要求,通过传感器芯片设计、加工、封装、模拟仿真和传感器温度补偿、批量调试以及电路集成等一系列关键工艺技术研究,突破SOI高温压力传感器量产工艺改进和产品批量生产、检测和调试平台建设的关键瓶颈,在国内首次实现发动机用SOI高温压力传感器的量产制备。
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管苏州大学理员
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