三坐标测量机是一种精密量仪，精密级的三坐标测量机测量空间任何一点的坐标精度可达到微米级，但是现代的超精加工、科学研究中往往提出纳米级的精度要求，所以对提高三坐标测量机的精度提出进一步的要求，以适应超精加工与科学技术发展的需要。
 
 为了进一步提高三坐标测量机的测量精度，需要针对影响三坐标测量机精度的因素采取一系列综合性措施。首先是提高标尺精度。激光干涉标尺系统将在测量机中得到较多应用。特别是大型三坐标测量机，这种“无形”标尺更有独特的优点。在采用激光干涉标尺时，还有两个问题需注意。
 
一是不要让激光产生的热影响测量机的精度，激光器常放在隔热舱外，光束通过光纤或反射镜引入；
 
二是注意折射率的补偿。为了减少大气扰动的影响，可以对光路进行全封闭或半封闭，即让激光干涉仪在密闭的罩内工作。
 
 其次，为了提高三坐标测量机的测量精度，必须提高他的结构精度，其中包括测量机主机、分度台、测头与各种测头附件的精度。这里尤为重要的是提高他的重复精度。
 
 第三，要努力减小力变形、热变形及其它环境因素带来的影响。特别要注意避免复杂力变形与热变形。这要从结构和环境控制两方面采取措施。
 
 第四，还要采用适当的采样策略。测量机应具有智能功能，能针对被测参数及精度要求，采用最佳采样策略。